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| 加工定制：是 | 品牌：CSMHK | 型号：870S |
| 用途：晶圆清洗甩干加工 |
1、设备概况
1.1应用领域：晶圆甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效***的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
1.2名称：双腔室甩干机
1.3型号：CSM870S
1.4尺寸：710mm*460mm*1850mm
1.5晶圆规格：2-6 英寸
2、主要结构特征
2.1 结构特征
双腔室甩干机主要由主轴传动部分，片盒夹具，工作腔，机架，门盖部分，洁净管路部分，电气控制等组成。
2.1.1材质：不锈钢机架+10mm PP板外壳
2.1.2设备机架：SUS304不锈钢材料，能够满足洁净室工作环境。
2.1.3腔体和载体采用耐腐蚀SUS316L不锈钢并电化学抛光。片架载体可方便更换。
2.1.4电机及转子经精密的动平衡处理，减少设备共振。
2.1.5采用专用定制无刷电机及控制器，***设备的稳定、可靠及满足系统对洁净度处理的要求。
2.1.6管路系统：PFA洁净管路
2.2工艺腔体及载体
3.1工艺腔数量∶2个 材质为不锈钢316L（腔体电解抛光处理）
3.2规格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒，可兼容。
3.3工作转速∶ 200—2200 RPM/MIN
3.4加热功能∶ 氮气加热 腔体加热
3.5轴封：电机转轴采用氮气轴封。
2.4 纯水控制单元：
2.4.1采用扇形冲洗喷嘴。
2.4.2排水口安装电阻率探头，对腔体排水水质进行监测。
2.4.3冲洗工艺完成后，氮气将残留在冲洗管路内的去离子水吹净。
2.4.4待机时，保持回水盒内有水流入且流量可调。
2.5 氮气控制单元：
2.5.1管件阀门： SMC电磁阀、 PFA高纯管件、 PTFE气控阀门。
2.5.2氮气加热功能： 316不锈钢加热器在线加热，温度开关控制， 加热温度控制在 80℃。
2.5.3配置高洁净型减压阀，内置氮气过滤器，过滤精度 0.003μm。
2.6 防静电控制单元：
由高压发生器、氮气电离室及氮气控制通道组成。
当氮气通过高压发生器的控制区时，氮气电离充斥整个工艺腔体，形成中和平衡消除静电。
2.7颗粒度：
颗粒增加值：满足客户要求
2.8 电控单元及软件系统：
2.8.1 甩干工艺过程由 PLC 控制器+触摸屏控制，可选择设置多种用户工艺菜单，并对每 个菜单的内容如：时间、速度参数进行设置。
2.8.2系统软件还具有密码权限设置，故障显示及报警功能。设备出现故障时，系统会停止工作并显示错误信息、报警以提示更改和维修。
2.9 工艺流程：
去离子水旋转冲洗＋离心甩干氮气烘干
建议工艺参数：
阶段 | 冲水 | 吹净 | 烘干1 | 烘干2 |
时间 | 60s | 30s | 200S | 100S |
速度 | 800r/min | 1000r/min | 1800r/min | 1500r/min |
介质 | 去离子水 | 氮气 | 氮气 | 氮气 |
氮气温度 | 无 | 0° | 80° | 80° |
4、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工硅片尺寸 | 2-6 英寸圆片 |
单次甩干数量 | 50片 |
工位数量（个） | 2 |
碎片率 | ≤0.01% |
颗粒增加值 | 满足客户要求 |
旋转速度 RPM/MIN | 200-2200 |
甩干时间 | 5-8min |
腔室及氮气加热方式 | 电加热器 |
氮气压力 | 0.25-0.3Mpa，氮气管接口3/8” |
氮气耗量 L/min | 80 |
纯水压力 | 0.25-0.3Mpa， 管接口3/8” |
排水管 | 40mm圆管 PVC管 |
控制系统 | 三菱PLC可编程控制器 |
显示 | 4.3寸触摸屏 |
电源 | AC220V |
整机功率 | 5 KW |
外型尺寸（深*宽*高）mm | 710mm*460mm*1850mm |
5、设计、制造、检验、安装
洁净装配车间满足高标准要求
5.1设计∶ 卖方依据本协议的全部要求，并按照行业规范，做出合理的设计，并在与买方的交流过程中，不断优化方案设计。对设备的机体、传动、动力、气动、温 控等部分的结构、选型必须留有余量，***能够长期安全、可靠、稳定地运行，为买方***产品质量提供最基本的条件。
5.2制造过程控制∶ 卖方为买方制作设备的过程中，应严格按照规定进行过程控制，***按设计要求生产出合格产品。
5.3生产的检验和验收∶ 在设备制作过程中和形成部件成品后，要进行严格的检验和试验，不合格品不得进入下一工序。
5.4搬运、存储、包装、防护和交付∶卖方应采取***产品质量的措施，这种保护应延续到交付的目的地，直至安装、调试完毕，交付买方验收。
5.5安装、调试∶卖方按行业规定进行设备的运输、调试。
6、验收
6.1 工厂检验
l 工厂检验是质量控制的一个重要组成部分。卖方需严格进行厂内各生产环节的检查和实验。卖方提供的合同设备须签发质量证明、检验记录和测试报告，并且作 为交货时质量证明文件的组成部分。
l 质量检查的范围包括原材料和元器件的进厂，部件的加工、组装、试验、出厂试验。
l 卖方检验的结果要满足本协议相关质量的要求，如有不符之处或达不到标准要求，卖方要采取措施直至满足要求，卖方发生重大质量问题时将情况及时通知买方。
6.2设备监造
l 为了***产品的内在质量，买方在设备的制造过程中需进行产品生产过程的监造和过程检验，尤其对关键的部件和材料。
l 卖方在制造过程中根据实际的生产进度，通知买方设备的阶段监造内容和检验项目，无论买方是否派人参与监造和检验，都不能免除卖方的任何合同责任。
l 监造、检验的依据为双方签署的技术协议书、经买方确认过的卖方的设计图纸和 相关的***。
l 监造、检验应尽量结合卖方的实际生产过程进行，若买方的监造代表不能按时到达，同时又没有通知卖方继续等待，为了***交货日期，卖方可正常进行生产和 检验工作，其检验结果有效，但监造代表有权事后了解、查阅检验结果。
l 监造过程中所做出的任何检验都不作为设备***验收的依据，设备的***验收以调试阶段双方签署的验收报告为准。
l 为了方便工作的开展，买卖双方***工作联络人，以方便联系和沟通，使卖方及时了解买方的变化，买方及时了解卖方的生产情况。
l 买卖双方签订商务合同后，双方共同确认设备的监造、检验大纲。
7、质量***
l 设备整机的质量***期为设备调试运转正常，性能达标验收后（即验收文件签订之日起）12 个月。
l 卖方供应的设备应符合相应的***和技术规范的要求，卖方***所提供的设备是合格的、全新及可靠的，应满足双方确认的设计条件和工艺技术规格要求，卖方提供的设备应满足买方的生产需要。
l 设备在安装、调试期间发生的任何质量问题，由卖方负责;在质保期内出现的质量问题，买卖双方应共同检查原因;如果质量问题是由于卖方的原因造成的，卖方应及时免费修理或更换，并承担相关责任。
