| 产品特性：晶圆甩干 | 加工定制：是 | 品牌：CSMHK |
| 型号：DP-4 | 用途：晶圆甩干 |
应用领域：单片甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干，快速烘干，效***的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
外 观
1）外形尺寸：
2）机身结构：进口PP板外壳
3）适用2”-8”晶圆加工
工艺参数
1）简便直接调速面板
2）旋转速度：100-6000 r/min
3) 运行时间：0-999S
设备配置
1）快速拆卸更换甩干头（快插式）
2）***洁净阀门管件
4）喷药冲水清洗功能（可选配）
5）氮气加热吹净 （可选配）
5）静电消除装置和电阻率检测控制和探头（可选配）
动力参数
1）电气：220V，1KW
2）N2：OD6mm管，压力：0.25-0.3Mpa，流量：5L/min（无选配氮气加热功能无此项）
3）DI：OD6mm管，压力：0.3-0.4Mpa，流量：5L/min（无选配冲水功能无此项）
4）排水：OD 12mm(PFA)
