| 产品特性：晶体生长 | 加工定制：是 | 品牌：CSMHK |
| 型号：DJ-600 | 用途：晶体生长 |
晶体材料生长设备
VGF 、HB 、HGF 、VB产品特点：
用于GaAs等化合物晶体的生长
按结构形式:垂直生长,水平生长
按生长方式:梯度生长及移动生长
晶体生长尺寸:：2-6寸
设备分类:HB 、HGF 、VGF 、 VB
提供专用的Ⅲ-Ⅴ,Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体的晶体薄膜生长制成专用设备,以满足化合物半导体器件的生产、研发工艺。
要技术指标：
结构型式：单管水平式，加热炉体可左右移动
适合2~4″晶体生长工艺（可定制）。
炉体有效加热长度：1600mm
工作温度：1300℃
恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃
升温速率（室温~1260℃）：斜变升温速率可控在0~15℃/min
降温（1300℃~900℃）：0~5℃/min
供电电源：三相五线~380V±10% ,50Hz
